PSM-4K系列閉循環(huán)低溫探針臺

產(chǎn)品簡介
PSM-4K系列低溫探針臺是一款閉循環(huán)低溫探針臺，緊湊型及低振動(dòng)的設(shè)計(jì)，能夠?yàn)榘雽?dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測試提供一個(gè)＜5K-350K高低溫真空測試環(huán)境，通過外接不同的電學(xué)測量儀器，可完成材料/器件的IV、CV、光學(xué)以及微波等參數(shù)檢測，實(shí)現(xiàn)低溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測試。

產(chǎn)品型號：

更新時(shí)間：2025-09-17

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：280

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

低溫和探針臺

其他冷熱臺顯微冷熱臺液氮高低溫探針臺室溫手動(dòng)探針臺

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產(chǎn)品概述

4K閉循環(huán)低溫探針臺在科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠在低溫環(huán)境下對樣品進(jìn)行各種非破壞性的物理性能和電學(xué)性能測試，幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學(xué)性能，從而為新材料的研發(fā)和應(yīng)用提供重要的數(shù)據(jù)支持。

PSM-4K系列低溫探針臺是的一款性能超好的閉循環(huán)低溫探針臺，其緊湊型以及低振動(dòng)的設(shè)計(jì)，能夠?yàn)榘雽?dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測試提供一個(gè)＜5K-350K高低溫真空測試環(huán)境。采用閉循環(huán)制冷，無需消耗液氦，溫度4.5K。

特點(diǎn)
• 采用閉循環(huán)制冷，無需消耗液氦，溫度4.5K。
• 探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作，可以在不破壞真空的情況下，切換樣品上的不同器件進(jìn)行測試。
• 特別的探針臂 X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié)，能滿足4英寸樣品的測試。
• 真空腔材質(zhì)為鋁制材料，能夠有效減小外界的電磁干擾，提高測試的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性。
• 探針臂采用三同軸接頭，漏電性能好，實(shí)測漏電流小于100fA @1V@4.5K-350K。
• 測試溫度范圍寬，支持4.5K-350K連續(xù)變溫。
• 特別設(shè)計(jì)的柔性探針，將探針安裝到銅制彈片上，避免扎針過程中力量過大導(dǎo)致樣品或電極損壞。

技術(shù)參數(shù)

參數(shù)和指標(biāo)：

探針臺主機(jī)分類
型號	PSM-4K-2	PSM-4K-4
溫度范圍	4.5K–350K	4.5K–350K
控溫穩(wěn)定性	+/-50mK
振動(dòng)	＜1μm
樣品座
類型及材料	無氧銅接地鍍金樣品座
尺寸	2寸	4寸
可選規(guī)格	絕緣樣品座（溫度只能到350K）同軸樣品座（溫度只能到350K）三同軸樣品座（溫度只能到350K）
探針臂
類型	直流探針臂
數(shù)量	4
接頭及電纜	三同軸接頭+極細(xì)同軸低溫電纜
漏電流	100fA@1V 真空環(huán)境中
信號頻率	DC–50MHz
匹配阻抗	50歐姆
位移范圍	X+/- 35mm,Y+/- 12.5m Z +/-6.5m R+/-10°	X+/- 50mm,Y+/- 12.5m Z +/-6.5m R+/-10°
光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡放大倍數(shù)	10–180倍
分辨率	3微米
視場	22mm
工作距離	90–100mm
真空腔
材料	鋁合金
腔體容積	9L	12L
整體尺寸	900900600	900900600
腔體內(nèi)徑	280mm	280mm
視窗尺寸	50mm	100mm
真空腔體窗口	標(biāo)準(zhǔn)石英窗口
防輻射屏窗口	紅外吸收窗口
真空度	5E-4 torr
預(yù)留接口	2個(gè)探針臂接口&2個(gè)電學(xué)接口
防輻射屏材料	不銹鋼
冷卻時(shí)間	120分鐘到5K	150分鐘到5K
冷源	GM制冷機(jī)
專用振動(dòng)隔離桌
尺寸	800800800	900900800
桌推	固定腳&滾輪